FFU層流罩之潔凈室亂流式：

　　空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器（HEPA）進入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級?！　?br />　　
        優(yōu)點：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本，潔凈室之?dāng)U充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高潔凈室等級。

　　缺點：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當(dāng)長一段時間。

    FFU層流罩之集中式潔凈空調(diào)系統(tǒng)是無塵凈化工程的潔凈設(shè)備（如加熱器、冷卻器、加濕器、粗中效空氣過濾器、風(fēng)機等）集中設(shè)計在空調(diào)機房內(nèi)，用風(fēng)管將潔凈空氣送進各個潔凈室。分散式潔凈空調(diào)系統(tǒng)是在一般的空調(diào)環(huán)境或低級別潔凈空調(diào)環(huán)境中，設(shè)置凈化設(shè)備或潔凈空調(diào)設(shè)備（如凈化單元、空氣自凈器、層流罩、潔凈工作臺等）.在半導(dǎo)體芯片工廠或其他生產(chǎn)過程要求高潔凈度的潔凈廠房中，其潔凈空調(diào)系統(tǒng)采用循環(huán)空氣方式，其循環(huán)方式主要有集中式、隧道式、風(fēng)機過濾單（FFU）方式和微環(huán)境+開放式潔凈室方式等。這些送風(fēng)方式既可以滿足高潔凈度要求，還可以不同程度地減小能耗。

　  LED/液晶/線路板制造是一種高度精密化的工業(yè)，一些細(xì)微的環(huán)境或操作變動都有可能影響其制造成品的質(zhì)量，因此制造過程均要求在嚴(yán)格控制下的潔凈室中操作。潔凈室是一個采用層層過濾以去除空氣中微粒存在，并控制室內(nèi)溫度與濕度于恒定狀態(tài)的密閉空間。


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