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產品分類 / PRODUCT
更新時間：2021-05-19 
瀏覽次數：1070 mks比例閥驅動器1249B華東區銷售
mks比例閥驅動器全量程壓力測量作為單個模擬輸出信號或通過可選的串行RS-485或DeviceNet?數字接口提供。取決于提供了三個可選的設定點繼電器，可以將它們配置為用于過程控制在整個真空范圍內的任何壓力下分配繼電器的能力。該系列392 Micro-Ion Plus可以帶或不帶顯示屏，并且可以配置為寬各種法蘭。第二代Micro-Ion Plus具有集成的儀表組件電子存儲器包含工廠校準信息。電存儲器由控制器使用模塊可為新的和替換的儀表提供工廠級的校準精度，并跟蹤量規的使用信息，以便MKS服務團隊可以快速了解您的應用程序環境。微型Pirani Conductron提供更高的精度通過在量規范圍內進行更好的熱管理。
運動控制系統可以根據被測器件以多種方式定制。圖1顯示了光纖對準系統的不同配置，從簡單的單通道單側設置到更復雜的雙面多通道設置，其中包括機器視覺、點膠/固化以及上下料等。其他設置可能包括水平和垂直波束的輸入和輸出。每種配置都需要一組*的運動控制產品，這取決于該器件所需的性能。
微離子ATM現在共享一個通用平臺以提高產品質量通過大批量制造。
在寬廣的真空范圍內進行精確測量通常需要多個儀表組件，另外真空端口，相關的電氣接口和控制系統。 Micro-Ion Plus全范圍真空模塊將多個傳感器組合到單個規格的管中連接到高級控制電子模塊創建緊湊的模塊化量規設計接口要求，并降低總體成本所有權，同時增強真空測量性能。下一代Micro-Ion Plus結合了通過30年的真空計獲得的知識設計和現場安裝，以及我們廣泛的與原始設備制造商（OEM）合作終用戶客戶。 高性能，全系列緊湊的單個真空端口中的真空測量擁有成本低的設計，請選擇系列392 Micro-Ion Plus或從我們的所有MKS系列中進行選擇壓力測量解決方案。
特點與優勢：
?連續壓力測量高真空
?緊湊的多傳感器量規設計
?消除了兩個獨立的需求量規
?雙電離規燈絲增加設備正常運行時間
?電離規激活自動化和停用
?可選的模擬，RS-485或DeviceNet介面
?RS-485和DeviceNet具有可選用于過程控制的設定點繼電器
?可選的法蘭配置
?現場可更換量規，低擁有成本
?電子量規管存儲器可確保放置的準確性和可重復性量規
?改進的微型皮拉尼導體準確性
?利用第二代產品Granville-Phillips真空吸塵器的30年量規設計經驗
?由MKS服務支持計劃支持
模擬輸出
對數壓力，0.5至7.0 VDC，0.5 V /十倍
RS-485串行接口
數字通信接口2線半雙工
通信格式ASCII：無奇偶校驗，一個停止位
波特率1200、2400、4800、9600、19200（默認），38400
地址0-63，使用地址開關和RS-485命令選擇
DeviceNet接口
消息輪詢的I / O和顯式
數據速率125、250或500 kbaud，可選開關
地址0-63，使用低和高地址開關選擇
工作溫度10°至40°C（50°至104°F），無冷凝
儲存溫度-40°至+ 70°C（-40°至+ 158°F）
烘烤溫度蕞高105°C（221°F），已拆下電子設備
電離規發射電流自動調整范圍
mks比例閥驅動器1249B華東區銷售
自動離子規控制設置（默認）
2x10 -2 Torr的電離規； 2.66x10 -2毫巴;壓力降低時為2.66 Pa
電離規關閉3x10 -2托，3.99X10 -2 mbar;壓力增加時為3.99 Pa
切換到高發射5X10 -6 Torr； 6.66X10 -6毫巴; 6.66X10 -4 Pa，壓力降低
切換至低輻射1x10 -5托； 1.33x10 -5毫巴; 1.33X10 -3 Pa，壓力升高
電離計脫氣電子轟擊； 3瓦1分鐘/單絲
電離規長絲鎢或釔包覆的銥
燈絲操作請參見注釋（7）交替（默認為氧化釔），自動，手動（默認為鎢絲）
熱損失傳感器線鍍金鎢
規格體積10.8厘米3（0.65英寸3）
LED指示燈模塊狀態
I / O連接器
RS-485 /模擬15針D-sub公頭
DeviceNet 5針微型連接器
大浪涌電流
RS-485 / Analog 2 A，48W，持續0.5秒
所需功率
RS-485 /模擬24 VDC + 10％至-15％，1 A，22W;
DeviceNet 24 VDC±15％（20.4V時1.5A），30W峰值時3.0A
可選的顯示圖形LCD
可選的設定點繼電器RS-485或DeviceNet：2個SPDT（NO / NC）或3個SPST（NO），每個都可以獨立設置
繼電器觸點額定值
30 VDC時大1 A，電阻負載
5 VDC時小5 mA，電阻負載
重量728.5克（25.7盎司）（2.75扁平接頭）
表殼材料鋁擠壓粉末涂層
真空304不銹鋼，鉭，鎢，氧化釔涂覆的銥，氧化鋁，CuAg共晶，
Kovar?，鍍金或鎳的Kovar硼硅酸鹽玻璃
機械運動平臺由電磁電機驅動的電動平臺通常用于生產環境中，以實現對準過程的自動化。通常具有亞微米量級的最小步進和重復定位精度，而使用這些平臺可大大提高通信器件的質量和性能。精密光纖對準系統中常用的驅動技術包括：
帶直接讀取編碼器的直線運動平臺——當搭配XPS-D運動控制器一起使用時，XMS直線運動平臺具有1nm MIM能力的最高精度等級。XMS可以快速、輕松地搜索一個直徑10μm區域內的最高峰值。圖4顯示了使用XMS平臺進行五軸調整的雙側多通道配置系統。
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